简介：
《真空科学与技术学报》由中国真空学会主办，是中国科学技术协会审定的国家级自然科学 技术刊物，双月刊，国内外公开发行。本刊论文被CA、SA和INSPEC等国际著名检索系统收录。
《真空科学与技术学报》刊载的论文的内容主要涉及如下学科：真空科学与技术、薄膜物理 与工艺、表面及界面物理、应用表面科学、物理电子学、电子材料与处理、纳米科学与技术、电真空技术、核真空技术及真空冶金等。本刊欢迎上述学科领域内的科研论文、研究报 告、工艺研究、动态综述、工业技术等稿件，对于开创性的发明、发现等新成果，将优先发表。
(一)稿件要求
1文稿务必立论明确，论证严谨，数据可靠，文字精练。特约稿、综述论文一般8 000字以内，学术论文6 000字以内，技术交流4 000字以内，科技简讯2 000字以内，来稿请填好中 图分类号。
2文稿要求用A4纸单面1.5倍行间距，小四号字体，来稿时，请附上作者中联系人、联系电话和电子信箱地址。投稿务必使用word2003版本，高版本word会导致系统无法进行文稿重复率检测。
3稿件请按本刊格式整理，除正文以外，要同时给出中、英文的篇名、作者姓名和工作单 位、论文摘要300字左右、关键词4～6个，参见“关于在学术论文中规范关键词选择的决定 ”。摘要应反映文章的主要信息，包括目的、方法、结果和结论四要素。
4凡汉语拼音、名词术语、物理量符号、单位符号、项目图形符号及文字代号等书写应贯 彻相应的国家标准。外文字母的大小写、正斜体、黑白体、上下角标等要标识清楚，矢量和张量采用黑斜体。
5文中图与表格应在相应位置给出，图、表应清晰，并给出中、英文对照的图题和表题。 图的标目和图中说明文字一律用英文标注。如有照片，请用黑白照片，不用彩色照片。
6文中使用他人成果，务必标明并在文后参考文献中列出细目。本刊参考文献采用顺序编 码制，书写格式按GB/T3179-92要求：
［期刊］ 序号 著者(3人以内全部列出，超出3人，只标前3人，后加“等”或“et al .”).刊名，出版年，卷号(期号)：页次
［书］ 序号 著者(要求同期刊).书名.版本(第一版略).出版地：出版者，出版年：页 次
［会议录，论文集］ 序号 著者(要求同期刊).见(In)：整本文献的编者姓名ed.(多编者 用eds.) 文集名，会议名，会址，开会年，出版地：出版者，出版年：页次
［专利文献］ 序号 专利申请者.专利题名.分类号.专利国别，专利批准号，批准日期
(二)注意事项
1作者应保证有合法的著作权。合作的论文，署名人数与顺序由作者自定，但需征得合作 者同意。
2来稿不得涉及国家机密，文责自负。
3作者请自留底稿，稿件录用与否，均不退还。
4请勿一稿多投。本刊严格执行初审、复审和终审制度，稿件收到后即向作者寄发收稿通知，三个月后作者可按稿件编号查询，六个月内，通知作者文稿是否录用或修改。
5本刊已加入“China Info(中国信息)网络资源系统(电子期刊)”等，凡不同意将自己的稿件纳入因特网传送交流的作者，请另投他刊。
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